辉光离子氮化炉，以工件为阴，炉体为阳，当炉内线Pa)后通入氨气，使线Pa。在两者之间加电压为400~750V，电流密度为0.5~2.0mA/cm2的直流电，在高压电场效果下，发生辉光放电，氨气发生部分理应构成氮和氢的正离子和电子。具有高能量的氮离子轰击工件外表，由动能转化为热能加热工件，一起氮离子汲取电子还原成原子被工件外表吸收并向内层分散。离子轰击工件外表还发生阴溅射，溅射出铁离子与氮离子化合构成氮化铁FeN，FeN从头附着在工件外表，然后理应为Fe2N和Fe3N并放出氮原子向工件内分散。

  一起辉光离子氮化炉还利用了对应的辉光放电来做处理的，在运用的时分还会由于电阻的不同而呈现改变。对应的辉光离子氮化炉在挑选的时分也需要从各种不同的方面来来了解和处理。